ABM紫外单面光刻机
设备型号：ABM/6/350/NUV/DCCD/M 设备厂商：ABM 查看详情光刻工艺
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紫外光刻-深硅刻蚀-材料刻蚀-真空镀膜-磁控溅射-晶圆键合-快速退火 广东省科学院半导体研究所 手机：15018420573 曾工（微信同号） 邮箱：zengzhaohui@gdisit.com 地址：广州市天河区长兴路363号
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百级/千级/万级超净实验室
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