热阻蒸发台
设备名称：电阻蒸发台
设备型号：ZHD－300
设备厂商：北京泰科诺
工作原理：将蒸发材料加热到蒸发或升华温度，蒸发出来的原子沉积在基片表面，形成致密的薄膜。
用途：蒸发有机物／熔点低的金属薄膜／厚度较大的金属薄膜
技术性能指标
1．样品尺寸：6英寸及以下
2．真空极限：优于2.0＊10－4Pa
3．两组蒸发源，可顺序蒸发两种材料
镀膜工艺
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