金属电子束蒸发台（PEVA-600E）
设备名称：金属电子束蒸发台
设备型号：Peva－600E
设备厂商：台湾聚昌
工作原理：电子束斑聚焦到蒸发材料表面，使局部达到蒸发或升华温度，蒸发出来的原子沉积在基片表面，形成致密的金属薄膜。
用途：蒸发Ti，Al，Ni，Cr，Pt，Au，Ag等金属
技术性能指标
样品尺寸：67＊2英寸、20＊4英寸、7＊6英寸
基板加热温度：室温－250℃，控温精度1℃
极限真空：2×10－7 torr
蒸发均匀性：＜±5％
一炉可以依次蒸镀6钟不同金属；
可以蒸镀高熔点金属Pt、W等
