金属电子束蒸发（DE400）
设备名称：金属电子束蒸发台
设备型号：DE400
设备厂商：美国德仪
技术性能指标
1．样品尺寸：5＊2英寸、1＊4英寸、1＊6英寸
2．基板加热温度： 室温－500℃可调，控温精度1℃
3．极限真空： 2×10－8 torr
4．蒸发均匀性：＜±3％
工艺特点
1．一炉可以依次蒸镀8钟不同金属
2．可以蒸镀高熔点金属Pt、W等
3．带有预腔室，保证腔体高真空，形成高质量薄膜
4．带有Ar等离子清洗功能，保证薄膜和基底高粘附性
