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CLASS 100 / 1000 / 10000 ULTRA CLEAN LABORATORY

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镀膜工艺

  • 磁控溅射镀膜

    设备型号：Kurt PVD75Pro-Line 设备厂商：科特莱思科 查看详情

  • 金属电子束蒸发（DE400）

    设备型号：DE400 设备厂商：美国德仪 查看详情

  • 金属电子束蒸发台（PEVA-600E）

    设备型号：Peva-600E 设备厂商：台湾聚昌 查看详情

  • ITO电子束蒸发台

    设备型号：Peva-600I 设备厂商：台湾聚昌 查看详情

  • 热阻蒸发台

    设备型号：ZHD-300 设备厂商：北京泰科诺 查看详情

  • 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）

    设备型号：PlasmaPro 800Plus PECVD 设备厂商：牛津仪器 查看详情

  • 低压气相沉积（LPCVD）

    设备厂商：青岛华旗 查看详情

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紫外光刻-深硅刻蚀-材料刻蚀-真空镀膜-磁控溅射-晶圆键合-快速退火 广东省科学院半导体研究所 手机：15018420573 曾工（微信同号） 邮箱：zengzhaohui@gdisit.com 地址：广州市天河区长兴路363号

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