台阶仪
设备名称：台阶仪
设备型号：DektakXT
设备厂商：德国Bruker
工作原理：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。
用途：用于半导体、MEMS等领域晶圆或者器件台阶形貌的测量分析
技术性能指标
1．扫描长度： 50µm－55mm
2．垂直测量范围： 1mm
3．台阶高度重现性5Å， 1σ 在1µm台阶上
4．垂直分辨率：最大1Å（6.5µm范围）
5．探针压力：1－15mg 最小可达0.03mg
6．探针曲率半径：0.2 μm ，2μm
7．样品台尺寸：8英寸往下兼容
