非接触式光学轮廓仪
设备名称：非接触式光学轮廓仪
设备型号：ContourX－200
设备厂商：德国Bruker
工作原理：特定波长的光在双光束干涉物镜中，经过分光板被分成两束光，一束光照 射到参照物表面，另一束光照射样品表面，这样得到的两束反射光在相机上成像。将样品表面的凹凸不平引起的光程差所获得的干涉条纹信息转换成高度信息，生成3D图像。
用途：用于半导体、MEMS等领域晶圆或者器件三维微观形貌的测量分析
技术性能指标
1．垂直分辨率：＜0.01nm Ra；RMS重现性：0.01nm
2．垂直方向单次测量量程：≥10mm
3．台阶测试精度：≤0.75％（8µm以上的台阶高度测试准确性）
4．配备自动样品台：XY移动范围≥150mm×150mm；带自动缝合拼接功能
5．CCD相机：像素≥500万
6．深孔和深槽测量能力：可测量10：1高深比的的孔和30：1高深比的槽
