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CLASS 100 / 1000 / 10000 ULTRA CLEAN LABORATORY

百级/千级/万级超净实验室

5000平米研发基地

完整的半导体工艺链

光刻案例
  • 4层图形精准套刻

  • 1um线条光刻

  • 叉指电极光刻

  • 不同孔径圆孔光刻

  • 光学阵列光刻

  • 二维材料光刻

  • 纳米图形光刻

  • SU8模版光刻