台阶仪（Profile-system）
设备型号：Dektak XT
设备厂商：德国Bruker
用途：用于表面台阶高度的测量分析
技术参数
● 扫描长度： 50µm－55mm
● 垂直测量范围： 1mm
● 台阶高度重现性5Å， 1σ 在1µm台阶上
● 垂直分辨率：最大1Å（6.5µm范围）
● 探针压力：1－15mg 最小可达0.03mg
● 探针曲率半径：0.2 um ，2um
● 超细探针：50nm
● 样品台尺寸：4英寸，6英寸，8英寸
● 可通过软件设置进行连续的多次扫描分析，最大次数大于10次。
● 单次扫描最大采样点数不小于100，000。
● 具备薄膜应力测量功能。
● 可进行多点测量比较，提供多个数据的平均和标准偏差。
● 载物台可水平移动，在x方向和y方向的行程不小于50mm×20mm。
● 光学系统：放大倍率不小于100倍，可通过摄像头观察到探针与样品表面。
送样须知
1、样品表面不要有液体成分，样品底部及表面相对平整，无明显的变形弯曲
2、样品高度不要超过50mm
3、测试目的主要有台阶高度、表面粗糙度
