非接触式光学轮廓仪
设备型号：ContourX-200
设备厂商：德国Bruker
用途：用于半导体、MEMS等领域晶圆或者器件三维微观形貌的测量分析
技术参数
1．垂直分辨率：＜0.01nm Ra；RMS重现性：0.01nm
2．垂直方向单次测量量程：≥10mm
3．台阶测试精度：≤0.75％（8um以上的台阶高度测试准确性）
4．配备自动样品台：XY移动范围＞150mmx150mm；带自动缝合拼接功能
5．CCD相机：像素＞500万
6．深孔和深槽测量能力：可测量10：1高深比的的孔和30：1高深比的槽
送样须知
适用于测各种膜，块体样品，表面三维形貌；可以测凹坑深度，凹坑直径范围，膜厚度等
