场发射透射电子显微镜(TEM)
扫描电子显微镜(SEM)
原子力显微镜(AFM)
台阶仪(Profile-system)
非接触式光学轮廓仪
电子探针显微分析仪(EPMA)
金相显微镜(Metallurgical Microscopy)
电子背散射衍射(EBSD)