聚焦离子束双束电子显微镜
设备型号：FEI Helios 5CX
用途：减薄样品、TEM样品制备、微纳结构加工
送样须知
1．无挥发性，固体、块体长宽最好小于20mm，高度小于5mm
2．样品要求导电性良好，如果导电性比较差的话需要进行金或喷碳处理
3．透射样品制备只保证切出的样品厚度可以拍透射
