1．光源系统：

●　325nm　He－Cd激光器，30mW，稳定性＜1.0％，噪声＜0.5％

●　配备滤光片双塔轮，每个塔轮安装5个滤光片，两两组合从而可实现325激光器的激发功率从0.15mW－30mW改变

●　汞灯校准光源

2．样品台及控制系统：

●　适合碎片以及2英寸外延片

●　带光学窗口的Janis低温制冷系统（5K－300K），降温速度2小时以内从300K降到5K，可使用10针电学真空接头及三个备用电学引入端口，用于变温电学测试

●　Cryocon　22C型多功能双输入通道控温仪，温度控制精度和稳定性高

●　10μm精度的电动XYZ调节台组。

3．数据采集及处理系统

●　焦长550mm，电动狭缝宽度0－2mm可调，杂散光抑制比优于104

●　光谱分辨率：PMT分辨率优于0.025nm，CCD分辨率优于0.1nm

●　光电倍增管探测器PMT探测波长200－860nm

●　高性能、低噪声液氮制冷背照射UV增强CCD探测器，探测波长400－900nm，1024×256像素16比特，制冷温度173K

4．其他

●　所有光学元器件均采用Thorlabs，精密度高，质量可靠

●　智能的测量分析软件Syner　JY，操作简单、便于数据处理