半导体参数测试仪、探针台
设备型号：B1505A、TS2000-HP
设备厂商：Keysight、MPI
用途：应用于半导体器件（MOSFET、晶闸管、双极型晶体管、二极管等）的电学性能评估
技术参数
● 最大输出电压±3000V
● 最大驱动电流±8mA（±1500V），±4mA（±3000V）
● 电压测量分辨率200μV；电流测量分辨率10fA
● 最大输出电压±40V（直流），土20V（脉冲），最大驱动电流土1A（直流），±20A（脉冲）电压测量分辨率200nV
● 电流测量分辨率10pA
● 多频点电容测试模块测试能力：频率范围1kHz至5MHz
送样须知
1．适合8英寸以内的晶圆片及残片样品
2．需要自行做好电极，电极大小在50＊50um以上
3．可测量击穿电压、开启电压、输出特性、转移特性、通道电阻、栅极漏电流、源极－漏极漏电流、电容电压等参数
