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光电热分析

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霍尔效应测试仪(HALL)
设备型号:HMS-5300
设备厂商:韩国ECOPIA
用途:用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、导电类型等重要参数
技术参数

● 输入电流:1nA ~ 20mA

● 电阻率:10e-5~ 10e7 Ω.cm

● 载流子浓度:10e7 ~ 10e21 cm-3

● 迁移率:1 ~ 10e7 cm2/(V.s)

● 磁场强度:0.556T

● 样品测量板:弹簧样品板

● 样品尺寸:5mm×5mm ~ 20mm×20mm,适用样品厚度:小于2mm。

● 温度范围:80 K -573K

● 磁体包尺寸:700×220×280 mm (W×H×D) / 15.5Kg

● 可同时测量得到体载流子浓度(Bulk carrier concentration)、表面载流子浓度(Sheet carrier concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall coefficient)、磁致电阻(Magnetoresistance)、电阻的纵横比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等参数。


送样须知

1、样品形态:必须是薄膜(做在基底上面的薄膜也可以,基底不能有导电性),薄片,如果是做在基底上面的薄膜,那么薄膜要稍微厚一点,薄膜的厚度需要自己确认好,包括纯薄膜的厚度以及薄片厚度都要确认好,到时候测试时需要输入仪器进行计算的

2、尺寸:8-11mm见方的圆片或者方片(最好是10mm见方的尺寸),导电层厚度在10-500nm之间最佳,整体厚度不超过2mm,样品需要均匀、平整,不能有孔洞、褶皱等缺陷;

3、样品电阻不要超过200MΩ,当样品电阻超过100Ω时,需要制备金属电极,金属电极共四个,位于正方形的四个顶角处。