椭圆偏振光谱仪（Ellipsometer）
设备型号：UVISEL
设备厂商：日本Horiba
用途：应用于各类薄膜的膜厚及光学参数（n，k），能够快速准确地表征薄膜生长质量和光学特性
技术参数
● 光谱范围210－880nm，有效覆盖深紫外－近红外光谱波段
● 椭偏测量范围：Ψ＝0－90°，Δ＝0－360°
● 高灵敏度，UVISEL采用光弹调制器PEM作为核心元件，具有50kHz 的快速调制速度；
● 椭偏参数的准确性：95％以上的被测点满足Δ≤00±0.05， Ψ≤450±0.0750（直射测量，即测空气）
● 30次连续性测量膜厚重复性：优于0.003nm（25nm SiO2 On Si）或者优于0.02nm （80－100nm SiO2 On Si）
● 快速数据采集，保证信噪比的前提下，可以极快地采集数据，达到1ms／point；
● 光斑直径：50µm，100µm，1mm
● 可检测样品尺寸：碎片或2、4、6英寸薄膜
送样须知
1．样品状态：材料一般为块状或薄膜，大小无特殊要求；
2．如果有基底的膜层结构要做折射率和消光系数，基底厚度要求越厚越好，膜厚度要在10um以下，如果是单层膜样品，没有基底，膜厚越厚越好，最好500um以上；膜层需00为透明薄膜目膜层表面均匀，基底不需要透明。
