二次离子质谱仪(SIMS)
设备型号：TOF-SIMS 5 iontof
用途：质谱分析、面扫分析、深度剖析
技术参数
- 高达ppm／ppb量级的检测灵敏度；
- 深度剖析功能；
- 可以检测H元素在内的元素和同位素；
- 结合标准样品，可以进行定量分析；
- 高横向分辨率（＜60 nm）；
- 深度分辨率优于1 nm；
- 高精度扫描（像素分辨率高达1024x1024）
- 快速检测，快速图像采集（像素频率高达50 Hz）
- 溅射速度可达10 um／h；
- 图像采集区域范围可从um2到cm2量级
送样须知
1．样品尺寸尽可能小：长／宽最好不超过1cm，厚度不超过5mm；
2．测试样品不受导电性的影响，绝缘样品也可以测试；
3．粉末样品至少需要10 mg；
4．测试面和对应面平行，样品平整度：测试面尽量平整；
5．测试面可以为规则形状也可以为不规则形状；
6．样品保存条件：需测试样品表面成分的，请不要对样品进行擦拭、触摸等，避免污染测试面；
7．样品包装条件：样品用干净材料包装，尽量避免接触测试面，存放于温湿度适宜条件下，有条件可以真空包装保存。
