9月7日,广东省重点领域研究计划“第三代半导体材料与器件”重点专项“深紫外固态光源关键技术及创新应用研究”项目结题验收会在半导体所顺利召开。广东省生产力促进中心副部长韦文求,广东省科学院科研部副主任林义民,项目负责人兼半导体所-北大宽禁带中心联合实验室主任沈波,以及项目团队主要成员、项目管理单位有关人员参加。
沈波对项目组织实施与成果进行了详细的汇报。本项目由半导体所牵头,联合省内多家龙头企业和省内外知名研究机构协同开展技术研发,突破4英寸晶圆上的深紫外固态光源关键技术,实现深紫外固态光源衬底制备-材料外延-芯片制备-可靠封装-应用产品的全产业链贯通,加快推进传统气态汞灯的替代,为广东省乃至全国相关产业高质量发展提供技术支撑。
验收专家组听取了汇报,查看了项目产品,经质询和讨论,认为项目对深紫外固态光源关键技术进行了系统研究,突破深紫外固态光源全产业链技术。项目产品实现了产业化,在医疗和消费电子等领域得到应用,取得了较好的社会效益和经济效益。专家组一致同意该项目通过验收。
(供稿:先进材料平台)