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省半导体院参加第9届亚洲-太平洋宽禁带半导体国际学术会议

发布时间:2019年11月26日来源:广东省科学院半导体研究所

         1110日到1115日,9届亚洲—太平洋宽禁带半导体国际学术会议在日本冲绳科学技术大学召开,省半导体院李成果博士受邀参加,来自中、日、韩、新加坡等国的宽禁带半导体材料与器件领域的专家、学者共同分享了宽禁带半导体材料与器件研究的最新进展,讨论了未来该领域的发展方向。

会上,李成果博士做了题为Growth and characterizations of N-polar GaN by MOVPE”的报告,汇报了省半导体院在N极性GaN材料生长方面的最新进展。N极性GaN材料在高电压功率器件及射频器件应用方面相较于传统Ga极性材料具有击穿电压高、导通电阻小以及尺寸微缩等优势,近年来在功率器件尤其是射频器件领域受到学术和产业界关注,但高质量N极性GaN材料生长一直是难点。

          李成果博士在蓝宝石衬底上通过对晶体生长中过饱和度的调控,得到了表面平整、低杂质浓度及高结构质量的N极性GaN薄膜,晶体质量可与传统蓝宝石上Ga极性GaN薄膜相比较,其研究结果为我院在N极性GaN功率与射频器件的进一步研制奠定了良好基础。