各（潜在）供应商：
广东省半导体产业技术研究院科研仪器设备采购竞投项目公告如下，欢迎符合条件的供应商参加竞投。
1.项目编号：SCFZ20190918
2.项目名称：广东省半导体产业技术研究院采购竞投项目
3.采购内容及需求：
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采购包 |
采购内容 |
参数规格 |
数量 |
采购预算（元） |
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1 |
光阻涂布机 |
压膜机（真空或非真空） 辊轮温度150℃，压力2MPa |
1台 |
100000.00 |
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2 |
显影机 |
工艺：入料→风切1→显影→风切2→冲污→溢流水洗(1)(2)(3)→DI 水洗→风刀吹干→出料。可支持基板尺寸330mm*330mm |
1台 |
200000.00 |
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3 |
铜电镀机 |
工艺：清洗→微腐蚀/活化→真空润湿→电镀→三级清洗 结构：电镀2槽（TSV+线路）.TSV盲孔填充能力（深宽比）5:1。线路厚度片间均匀性≤5% |
1台 |
435000.00 |
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4 |
点胶机 |
可自动点胶、画胶，精度≤±20μm。泵喷磁力泵。可电脑编程自动对位写胶 |
1台 |
150000.00 |
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5 |
无氧烤箱 |
最高工作温度350℃,氧含量20~100ppm,洁净度100级.氧含量≤100ppm |
1台 |
180000.00 |
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6 |
铜蚀刻+退膜机 |
真空、二流体蚀刻+退膜、水洗+吹干和烘,干输送速度：2~3米/分钟,样品尺寸：330mm*300mm产品厚度：0.125~3mm,行辘尺寸：直径φ10mm纤维支配穿φ30mm光身轮片。 |
1台 |
320000.00 |
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7 |
空压机 |
500m3/h，0.6MPa,无油，干燥清洁：固体过滤效果99.999% |
1台 |
118000 |
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8 |
超纯净水机 |
15MΩ，1m3/h,2m3储水罐 |
1台 |
71000 |
本项目共分八个采购包，供应商可对其中一个或几个采购包进行报价，可兼报兼中。每个采购包最终确定1个供应商；
4. 供应商资格要求：
（1）具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人；
（2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条及《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十七条的规定；
（3）供应商未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)以下任意记录名单之一：①失信被执行人；②重大税收违法案件当事人名单；③政府采购严重违法失信名单。同时，不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（说明：1）、由负责资格性审查人员于竞投截止日在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询结果为准。2）、采购代理机构同时对信用信息查询记录和证据截图或下载存档。）；
（4）本项目不接受联合体竞投；
（5）已了解本项目的招标文件，并完全响应。
注：满足资格要求的供应商在竞投时必须把以下资料放入竞投文件中：
1)营业执照复印件和组织机构代码证复印件和税务登记证复印件，或三证合一证件复印件。
2)财务状况报告，依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料复印件。
3)具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料复印件或书面声明原件。
4)参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明原件。
参与竞投供应商须保证以上所提交资料的真实、完整、有效、一致，否则自行承担由此导致的与本项目有关任何损失和法律责任。
5.公告时间：2019年 9 月 23 日至2019年 9 月 25 日（北京时间）。
6.递交竞投文件时间2019年 9 月 25 日 8：00 时到 17：00 时，递交竞投文件截止时间2019年 9 月 26 日 9：00 时（北京时间）。
7.递交竞投文件地址：广州市天河区长兴路363号半导体院313房。
8.竞投评选时间：2019年 9 月 26 日 9：00 时
9.竞投评选地点：广州市天河区长兴路363号广东省半导体产业技术研究院三楼会议室。
10.联系方式：
采购人：广东省半导体产业技术研究院
联系人：黄朝辉
联系电话：020-61086420
