广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干科研院所，前身是2010年10月在时任广东省委书记汪洋关怀下成立的广东半导体照明产业技术研究院，2016年4月成为独立法人单位广东省半导体产业技术研究院，2020年8月正式更名为广东省科学院半导体研究所。

    目前，拥有5000多平方米的研发基地，超净实验室超1000平方米，MOCVD等100多台/套关键设备，设备总价值过亿元。目前已建立先进材料、微纳加工、封装应用、测试分析四大科研平台，硬件条件达到国际先进水平，拥有省级工程技术研究中心2个、省级制造业创新中心1个。

主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。在第三代氮化物半导体领域具备贯穿全产业链的研发与中试支撑能力，在集成电路领域具备设计、封装、评测等多点支撑能力，是国内第三代宽禁带半导体材料研究的重要基地，也是国内少数拥有完整半导体工艺链的研究平台之一。 

    以全球视野，国际化、高标准汇聚了来自美、日、欧等顶尖企业和研究机构的高层次人才、国家级领军人才、广东省创新团队、广东省特支计划人才等。目前，形成了一支由1名俄罗斯工程院外籍院士、4名国家级领军人才、6名省部级人才领衔的高水平人才队伍。