结构合理、高水平的人才队伍，经验丰富的研发人员，提供专业的微纳加工技术服务
关于我们
微纳加工平台面向广东社会经济发展需求，致力于打造前沿性、支撑性、开放性的微纳加工领域创新实验室。平台拥有半导体器件制备工艺所需的整套仪器设备，建立了一条实验研发线和一条中试线，加工尺寸覆盖2-6英寸（部分8英寸），同时形成了一支与硬件设备有机结合的专业人才队伍。
清洗
- 酸碱清洗
- 有机清洗
- 晶圆甩干
光刻
- 电子束曝光
- 接触式曝光
- 双面对准光刻
- 激光直写
- 匀胶机
- 热板
- 纳米图形制备
刻蚀
- 等离子体去胶
- ICP刻蚀
- TSV深硅刻蚀
- IBE刻蚀
- 湿化学腐蚀
镀膜
- 磁控溅射
- 电子束蒸发
- 热阻蒸发
- PECVD
- LPCVD
- ALD
- Cu电镀
退火
- 快速退火
- 高温合金
- 无氧烘烤
其他工艺
- 晶圆键合
- 衬底转移
- CMP
- 生物传感
- 微流道加工
- PDMS、PI柔性材料
平台主要功能是提供微纳加工领域的技术创新，可支撑半导体光电子器件、功率电子器件、MEMS、以及生物传感器等芯片制备以及技术验证。
专业
稳定
用高标准、严要求保障平台的稳定与安全运行，提供具有高稳定性、可重复的微纳加工技术服务
高效
制定了标准化的服务流程，快速响应客户需求，承诺在最短时间完成样品加工，并提供后续响应技术支持
合作共赢
合作灵活，可探讨多种合作模式，与客户共同推动行业的良性发展
