等离子去胶机
设备名称：等离子去胶机
设备型号：PT－5S
设备厂商：深圳三和波达机电科技有限公司
工作原理：真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体，利用真空泵将工作室进行抽真空达到30－40pa 的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体。
用途：表面亲水性、拒水性高度清洁等各种表面改性。半导体工艺中主要用于光刻胶底膜去除。
技术性能指标
1．等离子射频频率为40KHZ，射频功率为200W，功率连续可调
2．N2、O2双路气体输入，气体流量109－100mL／min可调
3．清洗时间1－6000秒可调
4．真空度：30Pa－100Pa
5．内腔尺寸：直径150mm×270mm
