测试技术中心是我国研制生产半导体材料专用仪器的主要单位。迄今为止巳研制成功常规四探针测试仪、双电测四探针测试仪、导电类型鉴别仪、单晶少子寿命测试仪、手持式导电膜方块电阻测试仪、二探针电阻率测试仪、非接触硅片电阻率测试仪、三探针外延片电阻率测试仪、半导体陶瓷电阻测试仪、精密四探针头等。

大部分仪器填补国内空白，处于国内领先地位。以上仪器和配件广泛应用于半导体材料、功能材料、电子器件的生产单位、科研院所和高等院校。用户覆盖全国三十多个省市，并销售港、台地区及日本、新加坡、印度等地。

四探针测试仪

电阻率：0.0001—1000Ω.cm；

方块电阻：0.001—20000Ω／口；

导电类型鉴别仪

可判断硅材料的电阻率范围：

温差电法：10-4—103 Ω.cm；

整 流 法：10-2—104 Ω.cm；