面向半导体产业，开展关键尺寸-扫描电子显微镜、电子束缺陷检测、电子束光刻机、聚焦离子束等装备关键零部件研发，基于深度学习技术和模型库方法的电子束量测等核心算法开发。主要包括聚光镜、物镜、偏转器、消像散器、动态聚焦器件、能量过滤器等部件研制及电子光学柱设计。迄今团队承担多项国家、广东省重点研发计划等项目。

团队带头人为刘珠明博士、研究员，中科院“百人计划”、广东省科学院“百人计划”人才。从2002年至今长期从事电子束、离子束技术研发及相关半导体装备研究。先后任职中科院微电子所、英国Nottingham大学、Swansea大学、中科院电工所。团队目前12人，包括博士4人，硕士8人。

电子束离子束技术研发团队与南方科技大学深港微电子学院、华南师范大学光电学院、广东工业大学、五邑大学等院校建立了产学研合作关系，联合招收和培养全日制硕士和博士研究生。团队研究领域主要有以下几个方面：（1）电子光学设计；（2）信号检测和处理；（3）图像处理。热烈欢迎青年才俊加入电子束离子束技术研发团队，为中国半导体装备发展贡献力量。