异构集成技术是面向未来的集成电路高性能解决方案,可在芯片制程不变的情况下显著提升集成电路整体性能,成为行业公认的解决问题的最佳方案之一,将对行业发展产生重大的支撑作用。
团队以异构集成封装技术的研发为基础,开展其在射频功放、功率电子、存储器/计算机等领域的应用技术。
主要研究子方向:大尺寸扇出封装、3D封装、芯粒封装等
异构集成封装工艺开发
精细线路制备 扇出工艺RDL制备 异构集成封装设计开发
TSV 3D互连设计 多器件系统级封装
异构集成器件模块开发
硅片之间的异构互连 模块的异构集成