设备名称：合金炉

设备厂商：金立盾

工作原理：将材料快速加热到一定温度并维持长时间高温

用途：长时间的合金工艺，如ITO合金工艺以及p-GaN激活工艺等。

技术指标：

工作温度： 200-1000℃可调，控温精度1℃

恒温区长度：600mm

3. 单点温度稳定性、重复性：±1℃/24h

4. 斜变能力：升温速率15℃/min，降温速率：5℃/min

5.反应气氛；N2、O2