设备名称：电阻蒸发台

设备厂商：北京泰科诺

工作原理：将蒸发材料加热到蒸发或升华温度，蒸发出来的原子沉积在基片表面，形成致密的薄膜。

用途：蒸发有机物/熔点低的金属薄膜/厚度较大的金属薄膜

技术指标：

1. 样品尺寸：6英寸及以下

2. 真空极限：优于2.0*10-4Pa

3.两组蒸发源，可顺序蒸发两种材料