设备名称：金属电子束蒸发台

设备厂商：美国德仪

用途：蒸发Ti，Al，Ni，Cr，Pt，Au，Ag、Mo等金属

技术指标：

1. 样品尺寸：5*2英寸、1*4英寸、1*6英寸

2. 基板加热温度： 室温-500℃可调，控温精度1℃

3. 极限真空： 2×10-8 torr

蒸发均匀性：<±3%

工艺特点：

一炉可以依次蒸镀8钟不同金属；

可以蒸镀高熔点金属Pt、W等；

带有预腔室，保证腔体高真空，形成高质量薄膜；

带有Ar等离子清洗功能，保证薄膜和基底高粘附性

电子束蒸发2nmNi，Ra=0.099nm	高速率电子束蒸发Ti，粗糙度0.509nm