设备名称：金属电子束蒸发台

设备厂商：台湾聚昌

工作原理：电子束斑聚焦到蒸发材料表面，使局部达到蒸发或升华温度，蒸发出来的原子沉积在基片表面，形成致密的金属薄膜。

用途：蒸发Ti，Al，Ni，Cr，Pt，Au，Ag、Mo等金属

技术指标：

样品尺寸：67*2英寸、20*4英寸、7*6英寸

基板加热温度：室温-250℃，控温精度1℃

极限真空：2×10-7 torr

蒸发均匀性：<±5%

工艺特点：

一炉可以依次蒸镀6钟不同金属；

可以蒸镀高熔点金属Pt、W等