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XRD

发布时间:2018年10月19日来源:广东省科学院半导体研究所

设备名称:高分辨X射线衍射仪(XRD) 
设备型号:Smartlab 9kW 
设备厂商:日本理学RIGAKU  

设备介绍:

   基本原理:X射线与晶体相遇时,若满足布拉格方程,则在某些特殊方向上将产生强X射线衍射,衍射线的分布和强度与晶体结构密切相关。高性能的日本理学SmartLab型智能X射线衍射仪,能够用于分析金属、氧化物、纳米材料、超导材料、有机高分子等各种材料的晶体结构。

主要特点:

   ● 适用于粉末样品、块状样品、薄膜样品、微量样品 

   ● 最大输出功率高达9kW,适用于微量分析、深层分析 
   ● 最高分辨率0.0002°,测量精度高 
   ● 光学元件自动识别,全自动光路校正及样品高度校正,重复性高

应用领域:

    广泛应用于物理学、化学、地矿学、药学、冶金学、高分子科学、环保、考古、生命科学以及材料科学等领域。 
    ● 计算结晶度、晶粒大小、晶胞参数精确测定 
    ● 确定晶系、畸变和微观应变测量 
    ● 粉末样品的物相定性与定量分析 
    ● 薄膜样品摇摆曲线、倒易空间图等 
    ● 薄膜反射率测试、多层膜厚度、表面粗糙度等 

In0.17Al0.83N薄膜2-theta/Ω扫描及RC曲线

AlGaN外延层倒易空间图

储氢合金粉-粉末衍射