首页>对外服务>仪器设备

原子力显微镜

发布时间:2018年10月19日来源:广东省科学院半导体研究所

设备名称:原子力显微镜( Atomic Force Microscopy) 
设备型号:Dimension Edge 
设备厂商:美国Bruker 
设备介绍:

   基本原理:通过探测微细针尖和样品原子团之间相互作用力的变化来检测样品表面的高低起伏,具有原子级分辨率的表面形貌和表面特性分析。 
主要特点:

    ● 大样品台(150mm) 
    ● 具有接触模式、轻敲模式、相位成像模式、抬起模式、暗抬高模式等多种扫描方式 
    ● 具有表面形貌扫描、静电力显微镜、导电原子力显微镜、磁力显微镜、横向力/摩擦力显微镜、力曲线、纳米压印、图形化衬底)测试等功能模块 
    ● 高度扫描范围:10μm 
应用领域 :

广泛应用于材料形貌表征,力学性能表征,表面导电性能分析、表面磁性分析等领域。 
    ● 外延薄膜原子台阶形貌扫描 
    ● 纳米材料形貌表征 
    ● 纳米压印 
    ● PSS形貌扫描 
    ● 材料表面粗糙度、粘滞性、导电性以及磁性测试

 

 

      GaN原子台阶                                                蓝宝石PSS形貌 


                                                             

     Pt膜摩擦力图                                              光盘膜面纳米压痕