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点测机

发布时间:2018年10月19日来源:广东省科学院半导体研究所

设备名称:点测机(Prober)

设备型号:PG2101

设备厂商:台湾 德仪科技

设备介绍:

 通过图像匹配、识别、定位等过程,获取蓝膜上课识别晶粒的物理位置,同时生成该蓝膜上LED晶粒点测得原理是将大载有大量LED晶粒的待测蓝膜(扩散分离后)放入测试台wafer上,经真空吸附固定后,LED晶粒自动点测台的视觉系统对蓝膜上的LED晶粒进行全片扫描,LED晶粒的逻辑位置图MAP),根据LED晶粒的物理位置,控制待测的晶粒移动到测针下,使LED晶粒的两极与测针接触,提供测试回路;同时将逻辑位置发送给LED晶粒测试仪,实现自动测试,并将测试结果保存到用于管理测试资料的数据库系统中。

主要特点:

  l  适合正装结构、倒装结构以及垂直结构的LED芯片;

  l  最大适用8英寸晶圆测试;

  l  最大适用功率达160W;

  l  适用VF达400V的HV LED芯片;

  l  自动调平,自动寻边探测,探针精确定位;

  l  快速抽测,实时Mapping图显示。

应用领域:

点测机可广泛应用于LED晶圆检测、生物研究、军工行业、科学研究、玻璃行业、宝石研究、光伏产业、特殊光源检测等领域。