设备名称：快速退火炉

设备厂商：台湾技鼎

工作原理：快速退火炉是一种材料快速加热到一定温度并维持一定时间，然后再快速降温。

用途：释放应力；增加材料延展性和韧性；产生特殊显微结构；应用于半导体材料、器件、新材料等的快速热处理（如快速退火、合金等工艺）

技术指标：

1. 样品尺寸：6英寸及以下

2退火温度： 100-1250℃可调，控温精度1℃

3. 温度均匀性：1000℃下，6英寸晶圆≤±1%

4.反应气氛；真空、N2、O2、空气