1、快速退火炉

一、信息详情：

设备名称：快速退火炉

设备型号：RTP150

设备厂商：台湾技鼎

工作原理：快速退火炉是一种材料快速加热到一定温度并维持一定时间，然后再快速降温。

用途：应用于半导体材料、器件、新材料等的快速热处理，如快速退火、合金等工艺。 

二、技术性能指标：

1. 样品尺寸：6英寸及以下

2.退火温度： 100-850℃可调，控温精度1℃

3. 温度均匀性：850℃下，6英寸晶圆≤±1%

4.反应气氛：真空、N2、O2、空气

三、联系方式：

曾工15018420573（微信同号）邮箱：zengzhaohui@gdisit.com