1、场发射透射电子显微镜（TEM） 

一、信息详情

设备名称：场发射透射电子显微镜(Field Emission Transmission Electron Microscope）

设备型号：JEM-2100F

设备厂商：日本JEOL

二、技术参数

1. 点分辨率0.19nm

2. 线分辨率0.14nm

3. 加速电压：80,100,120,160,200kV

4. 倾斜角25°

5. STEM分辨率0.20nm

6. 最大放大倍数150万倍；

7. HAADF探头；

8. 单、双倾样品台；

9. 日本JEOL公司的电冷 100 mm2 EDS；

10. 美国GATAN公司的832 CCD

三、送样须知

1.样品状态

粉末、液体样品均可，薄膜和块体等无法直接测试，需要离子减薄、双喷、FIB、切片制样请提前说明并确认。

2.样品成分要求

该说明仅针对材料测试类样品，生物类样品与材料类处理方式完全不同。一般对测试样品有如下几方面的要求:

安全性：无毒、无放射性;

是否含有有机物：有机物在高压下不稳定，拍摄过程中极易被打散，样品被打散的同时会污染到仪器，如需拍摄，请务必与工程师确认。带有机物的样品无法拍摄mapping

磁性：磁性颗粒，易吸附到极靴上，原则上电镜(SEM和TEM)不拍磁性样品。但是不同的设备，测试老师不同的样品处理经验状况下，对所拍样品中磁性强弱的接受度不同，所以在预约时候请大家务必如实填写样品是否含磁及磁性的强弱。为方便区分样品是否有磁性及磁性强弱，我们按如下方法对磁性样品进行定义:

磁性样品：含铁、钴、镍、锰等磁性元素均为磁性样品。注意，磁性分硬磁和软磁，有些材料对外不表现磁性，但加磁场后容易磁化，受热后磁性增强也需要定义为磁性样品。

四、联系方式

王老师：13560436009（微信同号）

林老师：13889906362（微信同号）

2、扫描电子显微镜（SEM）

一、信息详情

设备名称：扫描电子显微镜（Scanning Electronic Microscopy）

设备型号：Quanta 650

设备厂商：美国FEI

二、技术参数

l 加速电压: 200 V - 30 kV；

l 束流: 最大2μA，并连续可调；

l 放大倍数: 6 x – 1,000,000 x ，四幅图像显示；

l 分辨率：30 kV下3.0 nm （背散射探头），30 kV下4.0 nm（二次电子探头），3 kV下8.0 nm （二次电子探头）；

l 检测器包含：高灵敏度、低电压固体背散射探头，二次电子探头，以及样品室红外CCD相机；

l 真空系统：样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa，样品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa，样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 2600 Pa；

l 样品室：左右内径379mm，10 mm分析工作距离，10个探测器/附件接口，EDS采集角35°；

l 样品台：X/Y = 150 mm，Z = 65 mm，Z向间隙93.5mm，倾斜- 5°~ + 70°，连续旋转360°，复精度: 2 μm (X/Y方向)；

l 搭载系统：

1. 能谱仪

BRUKER  10 mm² XFlash® SDD双硅漂移探测器，

• 分辨率 129eV

• 超快速脉冲处理

• 电制冷 （无需液氮）

2. 波谱仪

• OXFORD波谱仪 INCA分析系统；

• 低于500ppm下准确定量分析；

• 分辨率小于10eV，有效区分EDS中重叠峰，如S/Mo等；

• 即使出现重叠峰，WDS也可以快速准确的辨别样品中所有元素

• 分析痕量元素比EDS灵敏100倍

• 痕量元素WD分析，从而达到EPMA的准确度。

3. MLA自动工艺矿物学参数检测系统

MLA（Mineral liberation analysor）能自动测定矿石的矿物组成和含量，重要矿物分布特征及其粒度组成，有益、有害元素赋存状态等几乎所有工艺矿物学参数。它是由一台扫描电镜和一到两台能谱仪构成，加上MLA系统软件。其原理是利用扫描电镜的背散射电子图像区分不同的矿物相，并灵活利用能谱对不同矿物相进行X射线分析，从而快速准确获取工艺矿物学参数。

三、送样须知

1.制样要求

(1) 粉体样品：常规粉末直接粘到导电胶上测试，如需分散后测试请提前说明;

(2) 液体样品：测试老师根据样品要求及实验室条件，随机选择滴到硅片或铝箔上，如有指定要求请提前说明;

(3) 薄膜或块体：请标明测试面，如需测试截面，请自行自备截面或提前说明截面制备方式。

2.样品要求

(1) 样品形态要求：粉末、液体、薄膜、块体均可测试;

(2) 粉末样品要求：样品量需要提供大概10mg；

(3) 液体样品要求：样品量≥300ul，溶剂和溶液不能发生反应，溶液务必能干燥，不易干燥的溶液需要说明干燥条件，请根据样品成分选择对应的基底;

(4) 块体/薄膜样品要求：长宽≤1cm，厚度≤1cm，样品质量不超过200g；

(5) 混凝土，珊瑚沙，气凝胶等需要抽真空时间非常长的样品要求：尺寸请尽可能直径≤5mm，厚度≤5mm；

(6) 需要脆断的样品要求：尺寸需要>2*2cm，厚度<0.5cm，较厚的样品建议尺寸准备大些。

3.其它要求

(1) 样品含水，湿润是不能做SEM的；

(2) 易分解样品需明确分解条件(如温度等)，若样品极易分解可能不能安排测试，因为分解后产生物质可能对测试仪器造成影响；

(3) 水凝胶等易吸潮样品寄样前请先确认样品暴露4-5h内是否会出现明显的吸潮现象，测试过程中样品吸潮会影响拍摄的同时也会对仪器造成损伤；

(4) 导电性不好(如半导体金属氧化物、生物样品及塑料、陶瓷等)或强磁样品建议选择喷金，不喷金可能会影响拍摄效果；

(5) 要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。

四、联系方式

王老师：13560436009（微信同号）

林老师：13889906362（微信同号）

3、原子力显微镜（AFM） 

一、信息详情

设备名称：原子力显微镜（Atomic Force Microscopy）

设备型号：Dimension Edge

设备厂商：美国Bruker

二、技术参数

● 测量模式:

1.接触模式（Contact Mode）2.轻敲模式（Tapping Mode）3.相位成像模式（Phase imaging）4.抬起模式（Lift Mode）5.暗抬高模式（Dark Lift Mode）

● 测量模块:

1.表面形貌扫描2.静电力显微镜（EFM）3.导电原子力显微镜（CAFM）4.磁力显微镜（MFM）5.横向力/摩擦力显微镜（LFM）6.力曲线7.纳米压印8.图形化衬底（PSS）

● 扫描范围：100μm×100μm×10μm

● 噪声水平：不大于50pm（实现云母原子台阶测试要求）

● 样品尺寸：150mm×150mm×150mm (XYZ)

● 光学辅助观察系统：280~1285倍放大，180~1465μm视场范围，自动聚焦及缩放，1.5μm分辨率，计算机控制照明，彩色CCD摄像头

● 防震台：SPM专用防震台，防震频率0.5Hz

三、送样须知

1. 样品状态可为粉末、液体、块体、薄膜样品；

2. 粉末样品提供20mg，液体样品不少于1ml；

3. 粉末/液体样品请务必备注好制样条件，包括分散液，超声时间；

4. 薄膜或块状样品尺寸要求:长宽0.5-3cm之间，厚度0.1-1cm之间，表面粗糙度不超过5um，一定要标明测试面，块状样品需要固定好，避免在寄送过程产生晃动或摩擦影响测试结果。

四、联系方式

王老师：13560436009（微信同号）

林老师：13889906362（微信同号）

4、台阶仪 

一、信息详情

设备名称：台阶仪（Profile-system）

设备型号：Dektak XT

设备厂商：美国Bruker

二、技术参数

● 扫描长度： 50µm-55mm

● 垂直测量范围： 1mm

● 台阶高度重现性5Å, 1σ 在1µm台阶上

● 垂直分辨率：最大1Å（6.5µm范围）

● 探针压力：1－15mg 最小可达0.03mg

● 探针曲率半径：0.2 um ，2um

● 超细探针：50nm

● 样品台尺寸：4英寸，6英寸，8英寸

● 可通过软件设置进行连续的多次扫描分析，最大次数大于10次。

● 单次扫描最大采样点数不小于100,000。

● 具备薄膜应力测量功能。

● 可进行多点测量比较，提供多个数据的平均和标准偏差。

● 载物台可水平移动，在x方向和y方向的行程不小于50mm×20mm。

● 光学系统：放大倍率不小于100倍，可通过摄像头观察到探针与样品表面。

三、送样须知

1、样品表面不要有液体成分，样品底部及表面相对平整，无明显的变形弯曲

2、样品高度不要超过50mm

3、测试目的主要有台阶高度、表面粗糙度

四、联系方式

王老师：13560436009（微信同号）

林老师：13889906362（微信同号）