1、X射线光电子能谱仪（XPS）

一、信息详情

设备名称：X射线光电子能谱仪（X-ray Photoemission Spectroscopy）

设备型号：Nexsa

设备厂商：美国ThermoFisher

二、技术参数

1、能量分辨率及灵敏度：

l 能量分辨率≤0.5 eV

l 在束斑大小为400 μm且光源功率≤80W的实验条件下，当Ag3d5/2峰的半高宽≤1.0eV时，计数率≥4,000,000 cps

2、电子能量分析器：

l 128通道微通道板探测器

l 能量扫描范围5eV-3000eV，最小能量步长3meV

l 通过能为1-400eV，连续可调

3、X光源：

l 微聚焦单色化光源，聚焦可获得最小束斑≤10 µm

l 束斑面积从10μm至400μm聚焦连续可调，步长不超过5µm

l 光源最大功率150W

4、样品台：

l 多轴样品台：X、Y、Z 方向移动，围绕Z轴旋转，由计算机全自动控制

l 最大测试样品厚度不小于20 mm

l 样品台带有束斑孔径、刀刃边、荧光物质、银和金的标准样品台，用于系统自动标定

5、自动化电子/离子中和源：

l 带有同源双束中和枪，同时具备电子和离子中和能力，且电子及离子来源于同一中和源，可实现自动化精准电荷中和，无需单独调试某一样品

6、离子枪：

l 用于深度刻蚀和表面清洁的氩离子源，计算机控制，在低束能下保持高通量，自动校准束斑、能量等参数

l 能量范围：≥4000 eV

l 最大束流：4 µA

l 离子能量3 keV，束流3.5 µA时束斑不大于500 µm

l 离子束可控轴向旋转

l 束斑可调，自动对中

7、角分辨XPS：

l 角分辨XPS用精控步进马达样品托，角度分辨优于1°

内置角分辨XPS数据处理功能，能实现膜厚计算等功能

二、送样须知

1. 样品无腐蚀性、无毒性、无挥发性、无放射性、无强磁性。

2. 样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统。

3. 样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。

4. 样品重量、尺寸要求：粉末样品不少于10 mg，量少请用称量纸包好再装到管子里寄送；块状/片状/薄膜：长宽厚不超出1 cm × 1 cm × 4mm，超出此范围请提前联系，可能会加收制样费。

5. 样品数量多的，请务必编号，并拍照。

6. 对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记，并拍照。

7. 测不了H和He元素，其他元素都可以测。

8. 强磁性样品无法测量。一般含有铁、钴、镍、锰成分的样品，若不提前告知，默认按磁性样品进行退磁处理后再进样！

9. 含量低于5%的元素请务必注明。元素分布不均或者质量分数小于2%的元素可能测不出明显信号，不保证测试会出峰，因为含量太低。

10. 元素窄谱测试如有特殊要求请备注，没特殊说明默认测最强峰；若最强峰和其他元素的峰有重叠，默认测次强峰。如果需要增加扫描次数，请提前联系。

11. 计算元素数量时，不计算碳元素。同一元素如需测试多个轨道峰，请务必写出，并算作多个元素。

12. 样品应充分干燥。高分子样品在送样前应进行干燥处理。若含有高挥发性分子等请务必烘烤抽除。若需要我们干燥处理，请提前联系，将加收制样费。

13. 请勿用手触摸样品表面，会引入污染。制好样后请尽快密封，避免其他物质污染。

14. XPS测试需要用导电双面胶把样品固定在样品台上，测试过的粉末样品没法回收，块体样品回收可能也受到污染或者破坏，不保证样品完好，特别建议尽量不回收样品！

15. 关于测试结果的提供形式，默认只提供原始数据：VGP、EXCEL格式，未校准，未定量，未分峰。如有数据分析等其它需求，请提前联系，可能需要另外收费。

    三、联系方式

王老师：13560436009（微信同号）

林老师：13889906362（微信同号）

2、二次离子质谱仪(SIMS)

一、技术参数

l 高达ppm/ppb量级的检测灵敏度;

l 深度剖析功能;